九十一、见招拆招
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了两边明天过来查看情况。
由于物理隔绝的原因，这大大拖慢了两个实验室的对接问题。
徐光亮在实验室中走了一圈，了解了光刻机的进程之后，听介绍就知道想要在年底推出14纳米光刻机是很难保证的，看来指望14纳米能够跟国外齐头赶上，是不太可能了，于是他来到了许久没到的纳米碳管光刀实验室。
进来之后就看到了一台机器正在运行，他们的正在进行三十二纳米光刻实验。
徐光亮上前了解一番，这才知道他们的三十二纳米光刻实验已经接近100%的成功了——这就是这种光刻机的好处，步骤简化，无需其他前置辅助，就能进行光刻，不会出现因为其他步骤失误而造成芯片不合格。
旁边还有一台，这一台是22纳米光刻机，现在的成功率在60%左右，因为有些地方仍然不平稳，所以成功率不算太高，他们正在通过调整程序以及零件的办法增加精准度。
现在伺服电机能够转动的最小精准角度为10度，这代表着如果想要进行纳米级移动需要高精准度的减速机，为了能够达到这个目标，这台机器上加装了大量的减速机，并且为了能够达到目的，还装了大量的阻尼器和透镜进行偏转，这才能精准的进行光刻。
徐光亮看了一会，找到负责人问：“现在什么情况？22纳米光刻机设什么时候能够成功？十四纳米呢？”
负责人摇摇头说：“现在这个设计很难达到14纳米精度，不过针对14纳米我们提出了另一个解决办法。”
他一听非常有兴趣问：“什么解决办法能够完成解决十四纳米的精度？”
“集成光刻微动机电技术！”负责人说。
“是这个？”徐光亮当然知道这个技术，说起来也是因为光子核心知道的这个东西，因为当初光子核心确定方案的时候就曾经有人提出过这个方案。但是当时的他并不认为这种方案是光子核心的最佳方案，所以没有允许，因为这个方案是所有光子核心都会用到的普遍技术，毕竟它的响应速度制约了光子核心运
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了两边明天过来查看情况。
由于物理隔绝的原因，这大大拖慢了两个实验室的对接问题。
徐光亮在实验室中走了一圈，了解了光刻机的进程之后，听介绍就知道想要在年底推出14纳米光刻机是很难保证的，看来指望14纳米能够跟国外齐头赶上，是不太可能了，于是他来到了许久没到的纳米碳管光刀实验室。
进来之后就看到了一台机器正在运行，他们的正在进行三十二纳米光刻实验。
徐光亮上前了解一番，这才知道他们的三十二纳米光刻实验已经接近100%的成功了——这就是这种光刻机的好处，步骤简化，无需其他前置辅助，就能进行光刻，不会出现因为其他步骤失误而造成芯片不合格。
旁边还有一台，这一台是22纳米光刻机，现在的成功率在60%左右，因为有些地方仍然不平稳，所以成功率不算太高，他们正在通过调整程序以及零件的办法增加精准度。
现在伺服电机能够转动的最小精准角度为10度，这代表着如果想要进行纳米级移动需要高精准度的减速机，为了能够达到这个目标，这台机器上加装了大量的减速机，并且为了能够达到目的，还装了大量的阻尼器和透镜进行偏转，这才能精准的进行光刻。
徐光亮看了一会，找到负责人问：“现在什么情况？22纳米光刻机设什么时候能够成功？十四纳米呢？”
负责人摇摇头说：“现在这个设计很难达到14纳米精度，不过针对14纳米我们提出了另一个解决办法。”
他一听非常有兴趣问：“什么解决办法能够完成解决十四纳米的精度？”
“集成光刻微动机电技术！”负责人说。
“是这个？”徐光亮当然知道这个技术，说起来也是因为光子核心知道的这个东西，因为当初光子核心确定方案的时候就曾经有人提出过这个方案。但是当时的他并不认为这种方案是光子核心的最佳方案，所以没有允许，因为这个方案是所有光子核心都会用到的普遍技术，毕竟它的响应速度制约了光子核心运
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